ASML近日在社交平臺(tái)發(fā)文稱：芯片制造商需要速度，第一臺(tái)TWINSCAN NXE:3800E現(xiàn)已安裝在一家芯片工廠中。
據(jù)了解，TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代標(biāo)準(zhǔn)EUV光刻機(jī)，其配備了0.33數(shù)值孔徑透鏡，相較于此前發(fā)布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了進(jìn)一步提升，能夠支持未來幾年芯片行業(yè)3nm以及2nm制程芯片的生產(chǎn)制造。
在性能方面，TWINSCAN NXE:3800E在晶圓處理速度與對(duì)準(zhǔn)精度方面有了更出色的表現(xiàn)，它可以實(shí)現(xiàn)每小時(shí)處理195片晶圓的速度，相較于3600D每小時(shí)約160片的速度大約提升了22%，而且未來還有可能提升到每小時(shí)處理220片晶圓的速度。此外它還提供了小于1.1nm的晶圓對(duì)準(zhǔn)精度。
TWINSCAN NXE:3800E精度與速度上的提升，讓芯片制造廠商在生產(chǎn)2nm制程芯片以及后續(xù)需要雙重曝光的制造技術(shù)時(shí)有很好的效果。不過即使是用于4nm或者5nm的制程芯片，TWINSCAN NXE:3800E也能夠提升效率，讓芯片的生產(chǎn)更高效，從而降低成本。
當(dāng)然，這樣一套目前行業(yè)領(lǐng)先的EUV光刻機(jī)自然價(jià)格也是不便宜，據(jù)了解TWINSCAN NXE:3800E每套報(bào)價(jià)為1.8億美元，換算成人民幣約為13億元。不過相較于前段時(shí)間ASML賣給英特爾的High-NA EUV光刻機(jī)TWINSCAN EXE:5200（報(bào)價(jià)為3.8億美元），也算是比較有性價(jià)比了。
雖然ASML官方并沒有透露首臺(tái)TWINSCAN NXE:3800E具體交付給了哪家廠商，但有評(píng)論指出是英特爾。在ASML的助力下，美國芯片企業(yè)發(fā)展順風(fēng)順?biāo)谂_與其它國家的差距。
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